Trion Technology Minilock-Phantom III (RIE/RIE+ICP)

  • Компактная автоматическая установка реактивно-ионного травления/травления индуктивно-связанной плазмой для НИОКР и опытного производства
  • Назначение: изотропное или анизотропное травление диэлектриков  (SiO2, Si3N4, SiOxNу), полупроводниковых соединений (GaN, GaAs, InP, InSb, AlGaAs, InGaAs, InGaN, InAlGaN); анализ отказов ИС; травление кремния (Si, поли-Si), соединений кремния (SiC), кварца, металлов (Al, Cr, Cu, Ti, Pt, Ta, W, Ir, Mo, Nb), соединений металлов (TaN, TiW, TiN), полимеров (полиимид, фоторезисты, эпоксидные компаунды), графит (С) и прочие
  • Загрузка через вакуумный шлюз с манипулятором
  • Пластины: от ø2″ до ø300мм, части пластин, интегральные схемы, чипы.Возможна групповая загрузка пластин – 4 х ø3″, 3 х ø4″, 7 х ø2″
  • Источник плазмы: RIE – 600Вт либо 1250Вт, 13,56МГц, с автоматическим согласованием сопротивления
  • Алюминиевые анодированные электроды: нижний электрод: ø200мм либо ø300мм (зависит от варианта установки)
  • Газовая система: до 8 газовых линий с РРГ, продувочный азот
  • Применяемые газы: Cl2, BCl3, SiCl4, HBr, NF3, O2, Ar, CHF3, CF4, SF6, He, N2 и прочие
  • Подача газов в реактор: через кольцевой распределитель либо через душевой распылитель, автоматическая продувка систем азотом
  • Вакуумная система: для рабочей камеры – турбомолекулярный насос (вариант) и форвакуумный насос, для вакуумного шлюза – форвакуумный насос
  • Система управления: компьютерная, с сенсорным экраном; наличие библиотеки процессов; система аварийного отключения; автоматическая система управления давлением
  • Опционно: различные варианты насосных систем; внешние чиллер или нагреватель / чиллер для оперативного управления температурой подложкодержателя (-20÷150)°С; система измерения и оповещение об окончании процесса по лазерному интерферометру / оптическому эмиссионному спектрометру; источник ICP-плазмы – 600Вт либо 1250Вт, 13,56МГц, с автоматическим согласованием сопротивления; электростатический прижим пластины при гелиевом охлаждении

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.