Наша книга

Методология и опыт создания объектов и инфраструктуры современного микроэлектронного производства

ISBN 978-5-94836-705-7
DOI: 10.22184/978-5-94836-705-7

В сборнике статей изложен систематизированный опыт и методология по вопросам создания объектов микроэлектронного производства, соответствующих чистых комнат, а также систем подготовки технологических сред и их подключения и подачи на технологическое оборудование.

Работа является коллективным трудом специалистов, практически занимавшихся указанными вопросами при создании и запуске микроэлектронного производства. Первая глава (Безгин Ф.Г., Журавлев В.Г., Картавцев В.С., Кундывус Д.С., Ранчин С.О.) описывает терминологию и алгоритм создания объектов электронной промышленности. Вторая глава (Маркин А.В., Ранчин С.О.) посвящена теории и практике создания чистых комнат. В третьей главе (Евдокимов В.Л., Ранчин С.О.) даны основные требования к технологическим средам при изготовлении структур кремниевых микросхем. Четвертая глава (Просий А.Д., Яснов В.С.) посвящена вопросам создания систем очистки и контроля газовых и жидкостных технологических сред в реальном производстве.
В пятой главе (Просий А.Д., Кимрова А.П., Кузьмина Е.А., Глинский А.С.) описана методика и результаты ультра-следового анализа применяемой деионизованной воды. Шестая глава (Евдокимов В.Л., Ранчин С.О.) посвящена вопросам монтажа, подключения и испытаний линий подачи сред на технологическое оборудование.

Материалы книги, издающейся в формате сборника актуальных авторских статей, носят практический и конкретный характер. Комплексно освещенные методология и практический опыт могут быть использованы при создании и модернизации объектов и систем технологического обеспечения современных отечественных микроэлектронных и других прецизионных лабораторий и производств.

Аннотация и содержание

 

 

Ваше имя	:	*
Контактный телефон	:	*
E-mail	:	*
Ваша заявка	: