SCIENTA OMICRON Lab10 MBE

  • Установка молекулярно-лучевой эпитаксии
  • Лабораторное применение: рост металлов, полупроводников (III-V, III-N, II-VI, SiGe), магнитных материалов, оксидов, органических соединений…
  • Стандартная система MBE с рабочей камерой и с дополнительной камерой подготовки/хранения.
  • Размер подложки: стандартный образец пластины Scienta Omicron, малые выборки до 10 x 10 мм
  • Стандартная камера, диаметр: 10“. Большая камера, диаметр: 12“ – по запросу
  • Конструкция камеры: до 7 портов
  • Объем ячейки от 10 см3 до 35 см3. Объемы для приложений от 1,5 см3 до 5 см3.
  • Расстояние от источника до подложки: 160 мм
  • Исходный угол наклона: 18° => < 1% однородность толщины на 10 х 10 мм подложке
  • Варианты: охлаждение, нагрев, электронно-лучевой нагрев, ультра высокая температура
  • Движение по осям х/Y (± 8 мм), Z (100 мм); азимутальное вращение (±180°)
  • Быстрая и надежная передача образца вместе с отличными результатами производительности и низкой стоимостью владения.
  • Легкое и интуитивное программное управление ростом с возможностью стандартного анализа оборудования Scienta Omicron делает это уникальная система MBE для исследователей.
  • Дисковые затворы
  • Типы используемых насосов: Turbo, TSP, IGP

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.