Rigaku MFM310

  • Комбинированная промышленная система
  • Аналитическая система объединяющая в себе рентгеновскую рефлектометрию, рентгенофлуоресцентный анализ и рентгеноструктурный анализ, позволяющие измерять: толщину, плотность, и состав пленок на пластинах с нанесенным диэлектрическим слоем и профилированных пластина
  • Высокопотоковая система измерений для встраивания в полупроводниковое производство
  • Возможность определения:
    • Толщины, плотности пленок
    • Шероховатости
    • Измерения состава, фазы, кристалличности, преимущественной ориентации
    • Исследование многослойных металлических и диэлектрических пленок
  • Размер пластин: 300мм, 200мм
  • 2 загрузочных отсека (стандарта FOUP)
  • Высокое разрешение и точность в определении толщины от ангстремного до микронного уровня
  • Удовлетворяет стандартам SEMI S2/S8
  • Соответствие стандартам GEM-300/HSMS автоматизации производств.
  • Низкая стоимость владения и потребления энергии

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.