Rigaku AZX400

  • Система последовательной дисперсионной рентгеновской спектроскопии с детектором для анализа по длине волны
  • Система предназначена для определения толщины пленок и определения состава для больших и тяжелых образцов, пластин и дисков с высоким разрешением.
  • Размер образцов: диаметр до 400мм, толщина до 50мм, масса до 30кг
  • Поле измерения: 30-0.5мм в диаметре
  • Возможность картирования неоднородности
  • Определения элементов: 4Be ~ 92U с высоким разрешением
  • Определение состава (от миллионной доли до десятков %) и толщины (от суб-ангстремного до миллиметрового)
  • Замена кристаллов: до 10
  • Фильтр основной пучка: автоматическая смена (до 6 фильтров)
  • Опция авто загрузки пластин 200 и 300мм (FOUP)
  • Удовлетворяет стандартам SEMI S2/S8 и CE

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.