Промышленные
системы полного рентгеновского отражения
Системы
рентгено флюоресцентного анализа с полным внешним отражением для
промышленного применения в производстве полупроводников. Предназначена
для быстрого определение загрязнений на пластинах при производстве
полупроводников, а так же определения концентрация и химического состава
элементов на поверхности
Эффективная
инспекция в процессе определения загрязнений на различных стадиях при
производстве полупроводников, например, очистки, вакуумного нанесения тонких пленок, экспонирования,
травления и др.
Кроме
применений для полупроводников, системы могут быть использованы для сложных
составных (из различных элементов) полупроводниковых приборов, МЭМС,
органических электролюминесцентных материалов
Промышленные
системы полного рентгеновского отражения
Системы
рентгено флюоресцентного анализа с полным внешним отражением для
промышленного применения в производстве полупроводников. Предназначена
для быстрого определение загрязнений на пластинах при производстве
полупроводников, а так же определения концентрация и химического состава
элементов на поверхности
Эффективная
инспекция в процессе определения загрязнений на различных стадиях при
производстве полупроводников, например, очистки, вакуумного нанесения тонких пленок, экспонирования,
травления и др.
Кроме
применений для полупроводников, системы могут быть использованы для сложных
составных (из различных элементов) полупроводниковых приборов, МЭМС,
органических электролюминесцентных материалов
Промышленные
системы полного рентгеновского отражения
Системы
рентгено флюоресцентного анализ с полным внешним отражением
для применения в производстве полупроводников. Предназначена для быстрого
определение загрязнений на пластинах при производстве полупроводников, а так же
определения концентрация и химического состава элементов на поверхности
Эффективная
инспекция в процессе определения загрязнений на различных стадиях при
производстве полупроводников, например, очистки, вакуумного нанесения тонких пленок, экспонирования,
травления и др.
Кроме
применений для полупроводников, системы могут быть использованы для сложных
составных (из различных элементов) полупроводниковых приборов, МЭМС,
органических электролюминесцентных материалов
Промышленные системы полного рентгеновского отражения
Системы рентгено флюоресцентного анализ с полным внешним отражением для применения в производстве полупроводников. Предназначена для быстрого определение загрязнений на пластинах при производстве полупроводников, а так же определения концентрация и химического состава элементов на поверхности
Эффективная инспекция в процессе определения загрязнений на различных стадиях при производстве полупроводников, например, очистки, вакуумного нанесения тонких пленок, экспонирования, травления и др.
Кроме применений для полупроводников, системы могут быть использованы для сложных составных (из различных элементов) полупроводниковых приборов, МЭМС, органических электролюминесцентных материалов
Отдельно
стоящая система разложения в газовой фазе (VPD)
Система
предназначена для концентрации поверхностных загрязнений в капли для
последующего анализа на системах Рентгено флюоресцентного анализа с полным
внешним отражением
Встроенная
система автоматического разложения в газовой фазе (VPD)* для подготовки пластин
и концентрации загрязнений в капле для последующего рентгеновского анализа.
Использование
подготовки VPD позволяет 100-кратно увеличить предел
Аналитическая система объединяющая в себе рентгеновскую рефлектометрию, рентгенофлуоресцентный анализ и рентгеноструктурный анализ, позволяющие измерять: толщину, плотность, и состав пленок на пластинах с нанесенным диэлектрическим слоем и профилированных пластина
Высокопотоковая система измерений для встраивания в полупроводниковое производство
Возможность определения:
Толщины, плотности пленок
Шероховатости
Измерения состава, фазы, кристалличности, преимущественной ориентации
Исследование многослойных металлических и диэлектрических пленок
Промышленные системы дисперсионной рентгеновской спектроскопии с
детектором для анализа по длине волны
Система предназначена для одновременного определения толщины
пленок и определения состава
Система идеальна для измерения борофосфосиликатного стекла,
фосфосиликатного стекла и металлических пленок, многослойных пленок, пленок
электродов, пленок феродиэлектриков, FRAM, следующего поколения динамической
памяти с произвольным доступом, пленок оксида кремния и др.
Промышленные системы дисперсионной рентгеновской спектроскопии с детектором для анализа по длине волны
Система предназначена для одновременного определения толщины пленок и определения состава
Система идеальна для измерения борофосфосиликатного стекла, фосфосиликатного стекла и металлических пленок, многослойных пленок, пленок электродов, пленок феродиэлектриков, FRAM, следующего поколения динамической памяти с произвольным доступом, пленок оксида кремния и др.
Система последовательной дисперсионной рентгеновской спектроскопии
с детектором для анализа по длине волны
Полностью автоматический рентгеновский дифрактометр (XRD) характеризации
тонких пленок, наноматериалов и порошков с горизонтальным расположением
исследуемого образца. Может применяться для определения различных параметров
тонких пленок: композиционный анализ, анализ направления и ориентации,
определение кристалличности, характеризация релаксации решетки, определение
деформаций и остаточных напряжений решетки, анализ толщины пленки,
шероховатости интерфейса, анализ плотности пленки, определение однородности в
плоскости и т.д.
Встроенный режим малоуглового рентгеновского рассеивания (SAXS)
для экспериментально-расчетного анализа распределения по размерам наночастиц
жидких дисперсий, экспериментально-расчетного анализа распределения по размерам
наночастиц и пор тонких пленок и внутри массивных образцов, определения формы
наночастиц и пор, экспериментально-расчетный анализ корреляционной функции
распределения нерегулярной электронной плотности и т.д.
Рентгеновская
трубка: Cu, мощность
3 кВт,9 кВт (с вращающимся анодом)