Riber SIVA 45 MBE

  • Серии: Multi-4″
  • Разработана для роста сложных сплавов: кремния, германия и углерода
  • SiGe , SiC It possesses three electron beam evaporating guns, one of which can be multi-crucible, and can take up to four solid source cells or gas injectors.
  • 3 электронно-лучевых пушки
  • 4 места для МЛЭ источников
  • Размер обрабатываемых пластин – 4″
  • Простота обслуживания
  • Автоматическое управление эпитаксиальным процессом

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.