Riber MBE 6000

  • Серии: Multi-4″, Multi-6″
  • Промышленная сверхвысоковакуумная МЛЭ система
  • 11 мест для высокообъемных МЛЭ источников
  • GaAs
  • Размер обрабатываемых пластин – 4″ и 6″
  • Загрузка подложек в кассету 90×4″ или 40×6″
  • Выращивание подложек за один цикл 9×4″ или 4×6″
  • Моторизованная подача и перенос подложек
  • Высокая производительность
  • Автоматическое управление эпитаксиальным процессом

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.