Riber MBE 49

  • Серии: Multi-2″, Multi-3″, Multi-4″, Multi-6″, Multi-8″
  • Промышленная мелкосерийная сверхвысоковакуумная МЛЭ система
  • 12 мест для высокообъемных МЛЭ источников
  • GaAs, InP
  • Размер обрабатываемых пластин – 2″, 3″, 4″, 6″, 8″
  • Загрузка подложек в кассету 75×3″ или 60×4″ …
  • Выращивание подложек за один цикл 1×8″, 1×6″, 4×4″, 5×3″, 14×2″
  • Моторизованная подача и перенос подложек
  • Высокая производительность
  • Автоматическое управление эпитаксиальным процессом

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.