Riber MBE 32

  • Серии: Multi-1″, Multi-2″
  • Универсальная установка Based on Riber’s field-proven “Vertical Reactor” technology, Compact 21 is a 2″/3″ integrated system, providing, within a small footprint, all the necessary MBE facilities and state-of-the-art characterization capabilities.
  • GaAs, InP, GaN, Diamond It possesses three electron beam evaporating guns, one of which can be multi-crucible, and can take up to four solid source cells or gas injectors.
  • 3 электронно-лучевых пушки
  • От 6 до 11 мест для МЛЭ источников
  • Размер обрабатываемых пластин – 1″, 2″
  • Простота обслуживания
  • Автоматическое управление эпитаксиальным процессом

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.