Riber EVA 32 MBE

  • Серии: Multi-1″, Multi-2″, Multi-3″
  • Разработана для роста сложных сплавов: кремния, германия с металлами
  • SiGe , SiC, Metals It possesses three electron beam evaporating guns, one of which can be multi-crucible, and can take up to four solid source cells or gas injectors.
  • 2 электронно-лучевых пушки
  • 4 места для МЛЭ источников
  • Размер обрабатываемых пластин – 1″, 2″, 3″
  • Простота обслуживания
  • Автоматическое управление эпитаксиальным процессом

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.