Riber Epineat SiGe MBE

  • Серии: Multi-6″, Multi-8″
  • Разработана для научных исследований
  • SiGe It possesses three electron beam evaporating guns, one of which can be multi-crucible, and can take up to four solid source cells or gas injectors.
  • Размер обрабатываемых пластин — 6″ и 8″
  • Простота обслуживания
  • Автоматическое управление эпитаксиальным процессом

к списку