AP&S — LOTUS systems PURUS SIMPLEX — Установка приготовления химических смесей

  • Применение: для полупроводникового производства, МЭМС
  • Преимущества: азотная подушка с регулировкой давления газа (для минимального потребления азота); компактные размеры; эксплуатация с лицевой стороны; быстроразъемное соединение для обеспечения чистой замены емкости; легкое послепродажное обслуживание ввиду модульной концепции.
  • Опции: возможные размеры бочек: 1 х 60 л, 1 х 100 л, 1 х 200 л, а также 1 х 500 л и 1 х 1000 л; резервный насос, резервный фильтр; пистолет-распылитель деионизованной воды, «азотная подушка», автоматический блок промывки, фильтровентиляционный блок с 2 скоростями подачи воздуха внутрь корпусной среды.

к списку