AP&S — LOTUS systems PURUS DUPLEX — Установка приготовления химических смесей

  • Применение: для полупроводникового производства, МЭМС
  • Преимущества: легкое послепродажное обслуживание ввиду модульной концепции; быстрая замена емкости благодаря дегазации с помощью линии рециркуляции; доступ для обслуживания посредством модема.
  • Опции: возможные размеры бочек: 2 х 60 л, 2 х 100 л, 2 х 200 л, а также 2 х 500 л или 2 х 1000 л; резервный насос, резервный фильтр; пистолет-распылитель деионизованной воды, «азотная подушка», автоматический блок промывки, фильтровентиляционный блок с 2 скоростями подачи воздуха внутрь корпусной среды.

к списку