PE-50 Venus

  • Недорогая полностью автоматизированная компактная настольная установка плазменной очистки базового уровня для НИОКР, мелкосерийного производства, университетов; подложки до (4″x 5,5″)
  • Один горизонтальный электрод – 4,5″ x 6″; зазор – 2,5″  
  • Генератор: 400Вт, 50кГц с плавным регулированием мощности
  • Регулировка газового потока: два ротаметра (0÷25) см3/мин с прецезионными игольчатыми клапанами, возможность использования двух газов одновременно
  • Мановакуумер диапазоном (1÷2000) мторр
  • Двухступенчатый безредукторный масляный вакуумный насос производительностью 5ф3/мин (141,6 л/мин)
  • Система управления на базе ноутбука обеспечивает полностью автоматическое управление процессом; библиотека режимов технологических процессов; протоколирование данных/отклонений, аварийных ситуаций и многостадийных технологических маршрутов
  • Система управления включает компьютеризированные газовые клапаны для сверхточного и повторяемого контроля за уровнем потока газа, цифровые РРГ
  • Рабочая камера: 5,5″ x 7″ х 3,5″, материал – алюминий 6061-T6
  • Электроэнергия: 120В, 15А, 60Гц либо 220В, 14А, 50Гц
  • Габариты: 14″x14,5″x18″
  • Вес: установки – 55 фунтов (25 кг); вакуумного насоса – 35 фунтов (15,9 кг)
  • Опционно: мегагерцовый генератор плазмы, сухой вакуумный насос, дополнительные газовые входы, цифровые РРГ, световой маячок, системы продувки камеры и вакуумного насоса/осушитель воздуха/генератор продувочного газа
Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.