PE-25 Venus

  • Недорогая полностью автоматизированная установка плазменной очистки базового уровня для НИОКР, мелкосерийного производства, университетов и т.д.
  • Подложки до (3″x 6″)
  • Один горизонтальный электрод – 3,5″ x 7″; зазор – 2,5″  
  • Генератор: 400Вт, 50кГц с плавным регулированием мощности
  • Регулировка газового потока: один ротаметр (0÷25) см3/мин с прецезионным игольчатым клапаном
  • Мановакуумер диапазоном (1÷2000) мторр, вакуумный насос не входит в стандартную комплектацию
  • Система управления на базе ноутбука обеспечивает полностью автоматическое управление процессом; библиотека режимов технологических процессов; протоколирование данных/отклонений, аварийных ситуаций и многостадийных технологических маршрутов
  • Система управления включает компьютеризированные газовые клапаны для сверхточного и повторяемого контроля за уровнем потока газа
  • Рабочая камера: ø5″ x 8″, материал – алюминий 6061-T6
  • Электроэнергия: 120В, 15А, 60Гц либо 220В, 14А, 50Гц
  • Габариты: 14″x14,5″x18″
  • Вес: 52 фунта (23,6 кг)
  • Опционно: мегагерцовый генератор плазмы; сухой вакуумный насос; дополнительные газовые входы; цифровые РРГ, световой маячок, системы продувки камеры и вакуумного насоса/осушитель воздуха/генератор продувочного газа

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.