PE-200

  • Полностью автоматизированная настольная промышленная плазменная установка
  • Возможные конфигурации: 1 – для плазменной очистки/плазменного травления; 2 – для реактивно-ионного травления; 3 – трансформируемая конфигурация – обеспечивает изотропные и анизотропные плазменные процессы в одной системе
  • Подложки до (12″x 15″)
  • Три горизонтальных электрода (3 уровня)  – 13″ x 16″; зазор – 3″  
  • Генератор: 300Вт, 13,56МГц с плавным регулированием мощности и системой автоматического регулирования
  • Регулировка газового потока: один РРГ (0÷200) см3/мин
  • Мановакуумер диапазоном (1÷2000) мторр
  • Двухступенчатый безредукторный масляный вакуумный насос производительностью 29ф3/мин (0,82 м3/мин)
  • 3-микронный масляный фильтр
  • Система управления на базе ноутбука обеспечивает полностью автоматическое управление процессом; библиотека режимов технологических процессов; протоколирование данных/отклонений, аварийных ситуаций и многостадийных технологических маршрутов
  • Рабочая камера: 17″ x 17″ х 14″, материал – алюминий 6061-T6
  • Электроэнергия: 120В/208В, 3ф (пятипроводная) либо 208В, 3ф (четырехпроводная)
  • Сжатый воздух: давление – (80÷100) PSI, расход – 0,5 CFM (14,16 л/мин)
  • Процессные газы: давление – 15 PSI, двухступенчатый регулятор
  • Габариты: 18″x19″x24″
  • Вес: установки – 350 фунтов (158,8 кг); вакуумного насоса – 150 фунтов (68 кг)
  • Опционно: размер рабочей камеры и число/размер электродов по требованиям заказчика; электрод для реактивно-ионного травления; электростатическое экранирование;  система регулирования температуры; сухой вакуумный насос; масляный туманоуловитель на вытяжку; система автоматического контроля и поддержания вакуума;  дополнительные цифровые РРГ; световой маячок; системы продувки камеры и вакуумного насоса/осушитель воздуха/генератор продувочного газа; детектор снижения давления процессного газа; скруббер на выхлоп вакуумного насоса

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.