PE-100

  • Полностью автоматизированная настольная плазменная установка для НИОКР, медучереждений, производства, университетов
  • Стандартные конфигурации: 1 – для плазменной очистки/плазменного травления; 2 – для реактивно-ионного травления; 3 – трансформируемая конфигурация – обеспечивает изотропные и анизотропные плазменные процессы в одной системе
  • Подложки до (8″x 12″)
  • Три горизонтальных электрода (3 уровня)  – 9″ x 13″; зазор – 3″  
  • Генератор: 300Вт, 100кГц с плавным регулированием мощности
  • Регулировка газового потока: один РРГ (0÷50) см3/мин
  • Мановакуумер диапазоном (1÷2000) мторр
  • Двухступенчатый безредукторный масляный вакуумный насос производительностью 8ф3/мин (226,6 л/мин) с субмикронным фильтром от масляных паров
  • Система управления на базе ноутбука обеспечивает полностью автоматическое управление процессом; библиотека режимов технологических процессов; протоколирование данных/отклонений, аварийных ситуаций и многостадийных технологических маршрутов
  • Рабочая камера: 12″ x 14,5″ х 12″, материал – алюминий 6061-T6
  • Электроэнергия: 120В, 15А, 60Гц либо 220В, 14А, 50Гц
  • Сжатый воздух: давление – (80÷100) PSI, расход – 0,5 CFM (14,16 л/мин)
  • Процессные газы: давление – 15 PSI, двухступенчатый регулятор
  • Габариты: 17″x28″x30″
  • Вес: установки – 160 фунтов (72,6 кг); вакуумного насоса – 68 фунтов (30,8 кг)
  • Опционно: размер рабочей камеры и число/размер электродов по требованиям заказчика; электрод для реактивно-ионного травления; мегагерцовый генератор плазмы; электростатическое экранирование;  система регулирования температуры; сухой вакуумный насос; масляный туманоуловитель на вытяжку; 3-микронный масляный фильтр; система автоматического контроля и поддержания вакуума;  дополнительные цифровые РРГ; световой маячок; системы продувки камеры и вакуумного насоса/осушитель воздуха/генератор продувочного газа; детектор снижения давления процессного газа

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.