Nordson MARCH RIE-1701 (RIE)

  • Настольная автоматическая установка анизотропного реактивно-ионного травления и очистки поверхности для НИОКР и производства
  • Назначение: удаление межслоевых пленок для анализа отказов; удаление диэлектрических материалов и вскрытие герметизирующих компаундов; травление оксидов, нитридов, полиимидов, кремния, металлов, полупроводниковых соединений А3В5 и А2В6 при производстве МЭМС, светодиодов и микросхем; удаление эпоксидных компаундов; вскрытие и удаление фоторезиста
  • Процессная камера из анодированного алюминия с керамическими оправками: ø224 мм, высота 25,4 мм, объем 12 л. Смотровое окно
  • Пластины: 6″ и 8″, частицы пластин, микросхемы и другие изделия
  • Источник плазмы: RIE – 600Вт, 13,56МГц, с системой автоматического согласования
  • Электроды из анодированного алюминия: силовой электрод – ø152мм либо ø203мм (зависит от варианта установки); заземленный электрод – ø243мм
  • Газовая система: до 4 газовых линий с РРГ (2 – стандартно, 2 – опционно), продувочный азот
  • Применяемые газы: Ar, O2, H2/форминг газ, He, CF4, SF6, Cl2, BCl3, N2 и прочие; давление процессных газов – (0,69÷1,03) бар
  • Вакуумная система: коррозионностойкий масляный форвакуумный насос 0,55 м3/мин с уловителем паров масла
  • Система управления: компьютерная с сенсорным экраном; встроенная система контроля температуры
  • Электроэнергия: 220В, 10А, 1ф, 50/60Гц
  • Очищенный сжатый воздух: (3,45÷6,9) бар
  • Азот продувочный: (2÷6,9) бар
  • Вытяжная вентиляция: подключение ø38мм
  • Габариты: (569×869х704) мм
  • Вес: 221 кг
  • Дополнительное оборудование: чиллер, скруббер
  • Опционно: турбомолекулярный насос; дополнительные газовые линии с РРГ; газогенераторы азота и водорода

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.