Nordson MARCH MesoSPHERE

  • Высокопроизводительная автоматическая модульная установка плазмохимического травления и плазмохимической обработки поверхности для массового производства
  • Назначение – решение задач корпусирования и объемного монтажа: плазменная обработка (удаление органических и неорганических загрязнений, пассивация металлических поверхностей для минимизации окисления, удаление остатков адгезива после дебондинга, удаление металлов и оксидов металлов, улучшение адгезии пленок, очистка металлических столбиковых выводов); плазменное травление (удаление с пластин оставшегося непроявленного фоторезиста/бензоциклобутена, формирование изображения диэлектрических слоев, вскрытие фоторезиста, повышение адгезии поверхности пластин к наносимым материалам, удаление излишне нанесенных на пластину материалов и эпоксидных компаундов, повышение адгезии золотых столбиковых выводов, снятие избыточных напряжений в пластине для предотвращения ее поломки, очистка алюминиевых столбиковых выводов)
  • Конфигурация: от одного до четырехкамерного исполнения
  • Автоматическая система транспортировки: трехосевой робот с двумя манипуляторами, передача пластин/подложек за обратную сторону, за край или при помощи вакуума
  • Процессная камера объем 11,7 л
  • Пластины до ø450мм, пластины на носителе, круглые и квадратные подложки до 480мм
  • Источник плазмы: 1000Вт, 13,56МГц
  • Электроды: силовой и заземленный электроды – (480х480х50)мм
  • Газовая система: до 4 газовых линий с РРГ, продувочный азот; давление процессных газов – (0,69÷1,03) бар
  • Вакуумная система: безмасляный форвакуумный насос 0,623 м3/мин
  • Система управления: компьютерная с сенсорным экраном
  • Электроэнергия: 220В, 20А, 1ф, 50/60Гц
  • Очищенный сжатый воздух: (5,5÷6,9) бар
  • Азот продувочный: (2÷6,9) бар
  • Вытяжная вентиляция: подключение ø25,4мм
  • Габариты: однокамерный процессный модуль –  (1480×2700х2190) мм; двухкамерный процессный модуль –  (1480×2700х2190) мм; четырехкамерный процессный модуль –  (2695×2700х2190) мм;
  • Вес: процессный модуль – 725 кг, модуль EFEM – 860 кг
  • Дополнительное оборудование: чиллер
  • Опционно: безмасляный насос с азотной продувкой; газогенераторы азота и водорода

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.