AP&S – NIDDryer – Установка сушки пластин

  • Применение: для полупроводникового производства, МЭМС, светодиодов, фотошаблонов
  • Загрузка: от 25 до 50 пластин 12” (опция 6”; 8”)
  • Стандартные кассеты с высоким или низким профилем
  • Производительность: до 300 пластин / час
  • Применение: сушка гидрофильных и гидрофобных пластин.
  • Время обработки: Типичный процесс < 10 мин, в зависимости от выбранного рецепта
  • Гидрофильные пластины: ≤ 10 сумматоров @ 0,12 мкм
  • Гидрофобные пластины: ≤ 30 сумматоров @ 0,12 мкм
  • Загрязнение металла: ≤ 1 · 10 10 атомов / см 2 для любого следа металла
  • Наличие пятен: Нет после сушки
  • Потребление IPA: ≤ 30 мл / цикл
  • Исключение краев: 3 мм
  • Графический интерфейс пользователя. Редактор рецептов. Автоматическая генерация диагностических файлов. Система многоуровневого пароля.
  • Номинальное напряжение: 3 x 400 VAC
  • Номинальная частота: 50 Гц
  • Номинальный ток: 3 x 33 A
  • Габаритные размеры (Ш х Г х В): 660 x 1440 x 2200 мм
  • Опции: Система контроля концентрации, обдув азотом автономный или встроенный, ИБП

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.