MultiStep

Полностью автоматическая установка жидкостной химической обработки для полупроводникового производства, МЭМС, солнечных элементов
Применение: очистка, вскрытие, травление, сушка; RCA, IMEC, Pre-Diffusion, Pre-Metal…
Различные процессы травления, включая оксиды, нитриды, металлы и силициды
Загрузка: 1 x 25 пластин 8”; 2 x 25 пластин 6”; 2 x 25 пластин 4”
Стандартная кассета с высоким или низким профилем
Производительность: до 300 пл/ч;
Возможности управления процессом:

— Отслеживание партии на протяжении всего процесса

— Отслеживание параметров, включая температуру, расход, удельное сопротивление, химическое дозирование и т. д.

— Завершение работы фильтра, формирование файлов ошибок, журнала химии, журнала пользователя

— 17-дюймовый сенсорный экран

Модульные системы выхлопа для эффективного удаления паров кислот, щелочей, рН-нейтральных соединений и растворителей
Встроенная система безопасности
Номинальное напряжение: 3 x 400 VAC
Номинальная частота: 50 Гц
Номинальный ток: 3 x 33 A
Доступные варианты опций:

— Автоматическая передача пластин станцией загрузки

— Считыватель идентификаторов пластин

— Кассетный буфер

— Озоновая система (DI-вода или серная кислота)

— SMIF (150, 200 или 300 мм)

— Система управления сточными водами

— Локально установленные химические шкафы для разбавления, смешивания, предварительного нагрева химических растворов

— Система нагрева DI-воды

— Чистая мини-зона

— Система контроля концентрации

— POU-фильтрация DI-воды

— Система пожаротушения при работе с растворителями

— ИБП

— На основе процессоров B & R и IPC Windows 17-дюймовый сенсорный экран

— Редактор рецептов

— Цифровые блок-схемы в реальном времени

— Автоматическая генерация диагностических файлов (EOR, ERR, ChemLog и т. д.)

— Многоуровневый пароль

— Дистанционное управление через интернет

Обратная связь