AP&S – LOTUS systems – Установка жидкостной химической обработки

  • Полностью автоматическая установка жидкостной химической обработки для полупроводникового производства, МЭМС, солнечных элементов
  • Загрузка: 2 x 25 пластин 6” (4”, 5” опция); 2 x 25 пластин 8”; 1 x 50 пластин 8” (облегченные носители); 1 x 50 пластин 12” (облегченный носитель) – только исправление и производство пластин; подложки 150 х 150 мм (возможность до 210 х 210 мм) минимальной толщиной 150 мкм, 100 или 200 шт. в партии – для солнечных элементов.
  • Производительность: до 300 пл/ч; удаление фосфоросиликатного стекла- до 4000 пл/ч; текстурирование –  до 2000 пл/ч
  • Применение: очистка, вскрытие, травление, сушка; удаление повреждений от резки и фосфоросиликатного стекла, предочистка, текстурирование.
  • Опции: локальный микроклимат (класс 1), ультразвук, основной интерфейс, стандартный механический интрфейс порта загрузки

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.