AP&S – LOTUS systems – Линия жидкостной химической обработки

• Полностью автоматизированная линия жидкостной химической обработки для больших подложек/ тонкопленочного применения (для производства солнечных элементов)
• Применение: жидкостное нанесение покрытий; жидкостные травление/ очистка;
• Производительность: 150 подложек/час;
• Размер загрузки: подложки до 1200х800 мм;
• Отличительная черта: автоматическая загрузка многокоординатным роботом;
• Опции: несущее устройство для подложек различной толщины;
• FM 4910 совместимость.