AP&S – LOTUS systems – Линия жидкостной химической обработки

  • Полностью автоматизированная линия жидкостной химической обработки для больших подложек/ тонкопленочного применения (для производства солнечных элементов)
  • Применение: жидкостное нанесение покрытий; жидкостные травление/ очистка;
  • Производительность: 150 подложек/час;
  • Размер загрузки: подложки до 1200х800 мм;
  • Отличительная черта: автоматическая загрузка многокоординатным роботом;
  • Опции: несущее устройство для подложек различной толщины;
  • FM 4910 совместимость. 

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.