Jeol JIB-4600FMultibeam

Двухлучевая ионно-электронная система
Гибридная система, сочетающая в себе высокоразрешающий РЭМ и систему со сфокусированным ионным пучком для микротравления (послойное травление образцов).
РЭМ позволяет позиционировать ионный пучок в место травления с высокой точностью и визуализировать процесс травления с разрешением до 1.2 нм.
Благодаря высокому току зонда (до 200 нА), прибор позволяет эффективно использовать приставки для микроанализа (ЭДС, ДОРЭ)
Разрешение:1.2нм – электронная колонна и 5 нм в ФИП
Максимальный ток ионов 30 нA
Увеличение x50 – x1,000,000
Столик образцов: гониометрический (X: 50 мм, Y: 50 мм, Z: 1,5-40 мм)
Аналитические приставки и опции

— система энергодисперсионного микроанализа

— система анализа дифракции отражённых электронов — система спектрального анализа катодолюминесценции

Обратная связь