Jeol JBX-Series

  • Cистема электронно-лучевой литографии
  • Высокоскоростные промышленные, а так же компактные (для мелкосерийного производства) системы электронно-лучевой литографии предназначены для производства субмикронных и наноразмерных полупроводниковых устройств.

к списку