AP&S — LOTUS systems ILIOS — Установка очистки держателей и кассет

  • Применение: для полупроводникового производства, МЭМС
  • Преимущества: установка оборудована легкодоступной фронтальной панелью; кассеты, крышки боксов никогда не контактируют с металлическими частями; промежуточная накопительная емкость на дне для плавно регулируемого нагрева для обеспечения постоянной температуры в камере.

к списку