FERROTEC FT-CZ2208A

  • Установки для выращивания монокристаллов кремния методом Чохральского для нужд полупроводниковой промышленности
  • Конструкция: Нержавеющая сталь 304L и 316L
  • Автоматический контроль процессов нагрева и охлаждения. Защита от перегрева, управление подачей охлаждающей жидкости, контроль записей процесса
  • Пульт дистанционного управления может контролировать и управлять несколькими единицами оборудования
  • Технические характеристики:
Модель FT-CZ2208A
Диаметр тигля 22″
МаксимальDая загрузка 135 кг
Диаметр кристалла 8″
Максимальная длинна кристалла До 2000 мм
Основной корпус 5500 кг
Пульт управления 80 кг
Щит управления 400 кг
Блок питания 2100 кг
  Электричество Три фазы 380В, 50 Гц
Мощность 230 кВА
Охлаждающая вода, расход 400 л/мин
Охлаждающая вода, давление 0.3-0.4 МПа
Газообразный аргон, расход 200 л / мин
Газообразный аргон, давление > 0.27 МПа
Сжатый воздух, давление > 0.5 МПа
Максимальная высота <7400 мм
Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.