FHR Anlagenbau

FHR FLA-100

  • Установка импульсного отжига (БТП — формирование сверхмелких переходов, обработка гетероэпитаксиальных слоев, производство солнечных элементов)
  • Подложки до Ø4″, с адаптером — Ø3″, Ø2″; прямоугольные образцы 20х30мм толщиной до 1мм
  • Предподогрев 700 — 1100°C, максимальный нагрев — 2000°C
  • Изменение температуры — до 100°K/сек

далее

FHR FLA-100-DL

  • Лабораторная установка импульсного отжига (БТП)
  • Подложки до Ø4″, с адаптером — Ø3″, Ø2″; прямоугольные образцы, возможна другая геометрия образцов
  • Предподогрев до 800°C, максимальный нагрев — 1500°C
  • Изменение температуры — до 50°K/сек

далее

FHR MS 120- FLA

  • Модульная установка (для включения в состав кластерной) импульсного отжига (БТП)
  • Подложки до Ø120мм, с адаптером — Ø4″, Ø3″, Ø2″; прямоугольные образцы, возможна другая геометрия образцов
  • Предподогрев до 800°C, максимальный нагрев — 1400°C
  • Изменение температуры — до 50°K/сек

далее

FHR FLA 200-A

  • Установка импульсного отжига (БТП)
  • Подложки до Ø8″, с адаптером — Ø4″, Ø3″, Ø2″; прямоугольные образцы, возможна другая геометрия образцов
  • Предподогрев до 800°C, максимальный нагрев — 1500°C
  • Изменение температуры — до 80°K/сек

далее