Установки для выращивания кристаллов кремния и резки слитков

 

(Япония)

FERROTEC FT-CZ2008A, FERROTEC FT-CZ2208AE, FERROTEC FT-CZ2208A

  • Установки для выращивания монокристаллов кремния методом Чохральского для нужд полупроводниковой промышленности
  • Конструкция: Нержавеющая сталь 304L и 316L
  • Автоматический контроль процессов нагрева и охлаждения. Защита от перегрева, управление подачей охлаждающей жидкости, контроль записей процесса
  • Пульт дистанционного управления может контролировать и управлять несколькими единицами оборудования
  • Технические характеристики:
Модель FT-CZ2008A FT-CZ2208AE FT-CZ2208A
Диаметр тигля 20″ 22″ 22″
МаксимальDая загрузка 95 кг 120 кг 135 кг
Диаметр кристалла 6″ / 8″ 8″ 8″
Максимальная длинна кристалла  

До 2000 мм

До 2000 мм До 2000 мм
 

 

вес

Основной корпус 4500 кг 4500 кг 5500 кг
Пульт управления 100 кг 100 кг 80 кг
Щит управления 400 кг 400 кг 400 кг
Блок питания 2100 кг 2100 кг 2100 кг
 

Источник питания

 

Электричество

Три фазы 380В, 50 Гц Три фазы 380В, 50 Гц Три фазы 380В, 50 Гц
Мощность 200 кВА 230 кВА 230 кВА
Охлаждающая вода, расход 280–320 л/мин 350–400 л/мин 400 л/мин
Охлаждающая вода, давление 0.3-0.4 МПа 0.3-0.4 МПа 0.3-0.4 МПа
Газообразный аргон, расход 150 л / мин 150 л / мин 200 л / мин
Газообразный аргон, давление > 0.2 МПа > 0.2 МПа > 0.27 МПа
Сжатый воздух, давление 0.6 МПа > 0.6 МПа > 0.5 МПа
Максимальная высота 7900 мм <7400 мм <7400 мм

 

FERROTEC HXH 450 N, FERROTEC HXH 600 N, FERROTEC HXH 800 N

  • Установки для кристаллизации поликристаллов кремния для нужд солнечной энергетики
  • Конструкция: Нержавеющая сталь 304L и 316L
  • Автоматический контроль процессов нагрева и охлаждения
  • Защита от перегрева, управление подачей охлаждающей жидкости, контроль записей процесса. Пульт дистанционного управления может контролировать и управлять несколькими единицами оборудования
  • Технические характеристики:
Модель HXH 450 N HXH 600DN HXH 800 N
Размеры тигля, мм 840х840х430 840х840х450 1040х1040х480
Внутренний диаметр камеры  

1847 мм

 

1847 мм

 

2104 мм

Высота верхней камеры 1584 мм 1584 мм 2000 мм
Высота нижней камеры 785,7 мм 785,7 мм 1105 мм
Загрузка 450 кг 600 кг 800 кг
Размер слитка, мм 840х840х275 840х840х375 1000х1000х365
Габариты установки, Ш х Г х В, мм  

3600х4450х4910

 

3600х4450х4910

 

3900х4910х5730

Вес установки, с блоком управления  

10000 кг

 

10000 кг

 

13000 кг

Вес пульта управления оператора  

50 кг

 

50 кг

 

50 кг

Вес силового щита электропитания  

1800 кг

 

1800 кг

 

2500 кг

Вакуумный насос 220 л/мин 220 л/мин 220 л/мин
Электропитание 380В, 50Гц 380В, 50Гц 380В, 50Гц
Газообразный аргон, расход  

100 л/мин

 

100 л/мин

 

100 л/мин

Газообразный аргон, давление  

≥ 0.27 МПа

 

≥ 0.27 МПа

 

≥ 0.27 МПа

Сжатый воздух, давление  

≥ 0.6 МПа

 

≥ 0.6 МПа

 

≥ 0.6 МПа

Охлаждающая жидкость, расход  

270 л/мин

 

270 л/мин

 

270 л/мин

Охлаждающая жидкость, давление  

0.35-0.4 МПа

 

0.35-0.4 МПа

 

0.35-0.4 МПа

 

FERROTEC S1000

  • Станок S1000 проволочной резки слитков моно- и мультикристаллического кремния
  • Высокоточное и быстрое резание
  • Максимальная скорость резки 1,4 мм / мин
  • Фиксированный основной шпиндель и подъемный рабочий стол
  • Максимальная скорость подачи проволоки 920 м / мин
  • Инструкция по обработке настроена в панели управления
  • Автоматическое управление
  • Цифровое управление двигателем
  • Технические характеристики:
 

 

Размеры слитка монокристаллического кремния

Один разрез 36 шт. слитков, Диаметр 150 мм,

Длина 500 мм.

Один разрез 25 шт. слитков, Диаметр 200 мм,

Длина 500 мм.

Размеры слитка поликристаллического кремния 1000 х 1000 х 300 мм
840 х 840 х 200 мм
Способ обработки Встречное резание
Диаметр главного ролика 260 мм
Электропривод главного ролика 4 х 5,1 кВт
Потребляемая мощность 35 кВА
Максимальная скорость подачи проволоки 920 м/мин
Натяжение проволоки 80Н
Способ подачи проволоки Одиночная и множественная
Емкость шламоотстойника 280 литров
Габариты станка 6108 х 3400 х 3500 мм
Вес станка 15000 кг
Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.