EVG®301 — полуавтоматическая система для очистки одной пластины с возможностью модульного дизайна и ручной загрузкой пластин/подложек. В EVG®301 используется одна станция очистки, в которой можно выполнять не только стандартную очистку пластины с использованием деионизованной воды, но и использовать в качестве дополнительных возможностей мегазвуковую очистку, очистку с помощью щетки, а также очистку химическими растворами.

EVG®320 — автоматическая система для очистки одной пластины с возможностью модульного дизайна, автоматической загрузкой пластин/подложек и межпроцессным роботом. В EVG®320 можно выполнять не только стандартную очистку пластины с использованием деионизованной воды, но и использовать в качестве дополнительных возможностей мегазвуковую очистку, очистку с помощью щетки, а также очистку химическими растворами. Межпроцессный робот обеспечивает процессы предсовемещения и загрузки пластин автоматически «кассета-в-кассету» (для пластин размером до 200 мм) и «контейнер-в-контейнер» (для пластин размером до 450 мм).