ELS112SA

  • Размер обрабатываемых пластин: от 200мм до 300мм
  • Размер маски:         □9″ or □14″ кварц или стекло (soda lime)
  • Мощность лампы:  1.89 КВт
  • Диапазон длин волн: широкополосный источник

( i линия : 365нм /  h линия : 400нм / g линия : 436 нм )

  • Интенсивность излучения: более 15 мВт/ см2 на длине волны 365 nm
  • Неоднородность интенсивности:    менее 5% на подложке 300мм
  • Зона экспонирования:         максимально 300 мм x 300 мм
  • Управление системой компенсации выравнивания: автоматическое
  • Управление контактом:       автоматическое
  • Режимы экспозиции: близость / мягкий контакт / жесткий контакт /вакуумный контакт
  • Система выравнивания:     ручной метод по ПЗС камере
  • Точность выравнивания:     ±3мкм ( для 300мм )
  • Разрешение:1мкм при контактной литографии с толщиной фоторезиста 1 мкм
  • Антивибрационная платформа: наличие
  • Управление:    встроенный компьютер

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.