ELS108SA

  • Размер обрабатываемых пластин: от 150мм до 200мм
  • Размер маски:         □7″ or □9″ кварц или стекло (soda lime)
  • Мощность лампы:  660Вт~940Вт
  • Диапазон длин волн: широкополосный источник

( i линия : 365нм /  h линия : 400нм / g линия : 436 нм )

  • Интенсивность излучения: более 20 мВт/ см2 на длине волны 365 нм
  • Тип источника:        ртутная лампа
  • Неоднородность интенсивности:    менее 3% на подложке 200мм
  • Зона экспонирования:         максимально 200 мм x 200 мм
  • Управление системой компенсации выравнивания: автоматическое
  • Управление контактом:       автоматическое
  • Режимы экспозиции: близость / мягкий контакт / жесткий контакт /вакуумный контакт
  • Система выравнивания: ручной метод по ПЗС камере
  • Точность выравнивания:     ±1мкм
  • Разрешение:1мкм при контактной литографии с толщиной фоторезиста 1 мкм
  • Антивибрационная платформа: наличие
  • Управление:    встроенный компьютер

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.