ELS108FA

  • Размер обрабатываемых пластин от 150мм до 200мм
  • Размер маски:□ 7″ ~ □9″ кварц или стекло (soda lime)
  • Мощность лампы:  660Вт ~ 940Вт   
  • Диапазон длин волн: широкополосный источник

( i линия : 365нм /  h линия : 400нм / g линия : 436 нм )

  • Интенсивность излучения: более 20 мВт/ см2 на длине волны 365 нм
  • Тип источника:        ртутная лампа
  • Неоднородность интенсивности:    менее 3% на подложке 200мм
  • Зона экспонирования:         максимально 200 мм x 200 мм
  • Тип робота:             двойной манипулятор с системой картирования
  • Режимы экспозиции: близость / мягкий контакт / жесткий контакт /вакуумный контакт
  • Alignment Key:        150 мкм x 150мкм And Smaller
  • Точность выравнивания:     ±2мкм

для модели ELS106SA-B: ±2мкм по лицевой стороне, ±3мкм по обратной стороне

  • Разрешение:1мкм при контактной литографии с толщиной фоторезиста 1 мкм
  • Время такта: менее 40 секунд на такт

для модели ELS106SA-B: для лицевой стороны менее 40 секунд на такт, для обратной стороны менее 45 секунд на такт Управление:    встроенный компьютер

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.