ELS106FA-B

  • Размер обрабатываемых пластин от 50мм до 150мм
  • Размер маски:□ 4″ ~ □7″ кварц или стекло (soda lime)
  • Мощность лампы:  250Вт либо 500Вт
  • Диапазон длин волн: широкополосный источник

( i линия : 365нм /  h линия : 400нм / g линия : 436 нм )

Интенсивность излучения: более 16 мВт / см2 на длине волны 365нм

для 250Вт, более 40 мВт / см2 на полосе 365нм для 500Вт

  • Тип источника: ртутная лампа
  • Неоднородность интенсивности: менее 3% на подложке 100мм
  • Зона экспонирования:         максимально 150 мм x 150 мм
  • Тип робота:             двойной манипулятор с системой картирования
  • Режимы экспозиции: близость / мягкий контакт / жесткий контакт /вакуумный контакт
  • Точность выравнивания:     ±2мкм по лицевой стороне, ±3мкм по обратной стороне
  • Разрешение:1мкм при контактной литографии с толщиной фоторезиста 1 мкм
  • Время такта:           для лицевой стороны менее 36 секунд на такт, для обратной стороны менее 45 секунд на такт
  • Управление:    встроенный компьютер

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.