• Автоматическая установка очистки масок
• Рабочий размер масок：5 х 5 дюймов и 7 х 7 дюймов
• Тип робота：Трёхосевой
• Скорость вращателя：500 ~ 2000 оборотов в минуту
• Точность поддержания скорости вращения：   ± 1%
• Ускорение：3000 оборотов в секунду
• Система подачи химикатов：наличие
• Система очистки：наличие
• Подача азота：наличие
• Система контроля температуры: опционально
• Блок поворота：270°
• Рецепты：         30 рецептов x 50 шагов
• Полностью автоматическое устройство: загрузка и выгрузка из кассет
• Автоматическая настройка под размер маски
• Использование щетки и технологии мега звука для удаления частиц, никаких следов воды после очистки, хорошая эффективность очистки
• Изменение размера маски: нет необходимости менять перенастраивать систему при очистке масок разного размера
• Односторонняя или двухсторонняя очистка
• Можно поменять режим очистки при обработке другого типа масок
• Низкая стоимость: щелочные химикаты для очистки, низкая стоимость
• Можно загружать/отслеживать/управлять записью процессов очистки масок
• Собственные программное обеспечение/ аппаратные средства / оптические технические системы компании ELS
• Удаление инородных частиц 99 %
• Высокая производительность
• Возможность соединения с системой проявления/экспонирования и настройка системы управления покупки / производства / очистки / удаления масок
• Камера очистки
• Система подачи химических реагентов
• Манипулятор с устройством Mega Sonic
• Манипулятор со щеткой: сканирующего типа
• Насадки для подачи деионизированной воды или N2
• Насадка для промывки задней стороны пластин деионизированной водой / обдувки N2
• Система управления: ПК + ПЛК
• Управление операциями: Сенсорная панель
• Класс чистоты ИСО 5
• Опционально: SECS / GEM (стандарт в области связи для полупроводниковой промышленности/общая управляющая программа для мультипроцессорных приложений в реальном времени)
• Размеры: 1600 мм (Длинна), 1950 (Ширина), 2200 мм (Высота с сигнальными лампами)

к списку