ELS 3612FA

  • Автоматическая установка нанесения фоторезиста
  • Размер подложки: 200 ~ 300мм
  • Состав: Auto Load port / Robot + Track / Centering / Coater / HP / CP / ULD
  • Тип робота:Трёхосевой

(Опция: автоматическая система порта загрузки)

  • Класс чистоты:класс 100 с HEPA фильтром
  • Скорость вращателя:30 ~ 5000 оборотов в минуту
  • Ускорение: 8000 оборотов в секунду
  • Край / Задняя сторона: Да
  • Нагрев: 30 ~ 200°C
  • Способ нагрева: контакт / с зазором
  • Управление:встроенный компьютер
  • PLC секвенсор:Mitsubishi Q series
  • Рецепты:30 рецептов x 50 шагов
  • Производительность:до 50 шт. в час от рецепта
  • Камера для нанесения покрытий
  • Столики с нагревом и охлаждением пластин
  • Насадка с тремя дозаторами (максимально) для фоторезиста
  • Подача с помощью сжатого N2 или насоса с шаговым двигателем
  • Система удаления фоторезиста с края пластины
  • Насадка для промывки задней стороны пластин
  • Высокий коэффициент использования
  • Гибкая система для настройки потокового процесса
  • Моторизованный насос для дозирования фоторезиста, высокая точность регулировки объема жидкости
  • Собственные программное обеспечение/ аппаратные средства / оптические технические системы компании ELS, быстрое и легкое соответствие запчастей.
  • Функция предварительного дозирования
  • Сопло для промывки. Насадка встроена в промывочный блок
  • Высокая стабильность промывки края пластин
  • Высокие однородность результатов и пропускная способность
  • Высокая точность электронно-лучевой плавки
  • Автоматическое преобразование размеров пластин
  • Опционально:

(1) Насос для вязких жидкостей (10000 сП).

(2) Насадка для третьего фоторезиста.

(3) Порт для автозагрузки.

(4) SECS / GEM (стандарт в области связи для полупроводниковой промышленности/общая управляющая программа для мультипроцессорных приложений в реальном времени).

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.