DNS WS-820L Установка для химического травления, отмывки и сушки пластин

  • Установка химического травления, отмывки и сушки пластин для производственных процессов в полупроводниковой промышленности, производстве SiC / Si устройств питания, MEMS, LED, датчиков TSV и BSI…
  • Автоматическая система жидкостного химического травления и отмывки, с широким набором функций
  • Диаметр пластин: 150 мм
  • Количество ванн: до 13 штук
  • Пакетная обработка
  • Высокая однородность травления
  • Функция сушки с учетом особенностей технологического процесса
  • Предотвращение водяных следов для модели WS-820L: Может быть установлено устройство для сушки низкого давления, чтобы уменьшить водяные следы и обеспечить чистую сушку
  • Графический контроллер поддерживает широкий спектр приложений, от серийного до массового производства
  • Роботизированный транспорт
  • Встроенная система безопасности
  • Два типа передачи: WS – 620C with carrier transfer processing; WS – 820L with carrier less transfer processing
  • Гибкая конструкция: Системы могут быть сконфигурированы свободно, в зависимости от применения
  • Высокая пропускная способность: Возможность установки нескольких ванн и до шести роботов передачи, чтобы обеспечить высокую пропускную способность
  • Высокое качество обработки: Оптимизированная обработка в ваннах, строгий контроль химического травления и отмывки, чистая сушка
  • Широкий модельный ряд периферийных устройств: Включая блоки передачи пластин и кассет
  • Емкости*: 3 химических танка, 4 танка для деионизованной воды
  • Энергоносители: 380 В, 61 кВт, азот, сжатый воздух, вакуум, деионизованная вода,…
  • Размеры (Д х Ш х В): 6500 мм х 3452 мм х 2850 мм
  • Вес: 4000 кг

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.