DNS SS-80EX

Установка гидромеханической отмывки и сушки пластин

  • Установка гидромеханической отмывки и сушки пластин для производственных процессов в полупроводниковой промышленности, производстве SiC / Si устройств питания, MEMS, LED, датчиков TSV и BSI…
  • Автоматическая система гидромеханической отмывки пластин для массового производства
  • Диаметр пластин: от 100 до 200 мм
  • Установка оснащена технологией, которая позволяет производить очистку участка пластины скоса. Щетки перемещаются с высокой точностью, осуществляется контроль удаления грязи с части скоса, который трудно очистить в химическом растворе.
  • Шесть типов высоконадежных и проверенных средств очистки, обеспечивают поддержку широкого спектра различных целей и приложений.
  • Очистка пластин с обеих сторон с помощью вращающихся щеток
  • Опции: Ультразвуковая МГц система очистки деионизованной водой D-Sonic для удаления мелких частиц; очистка с нанесением наноаэрозоли при помощи жидкостной форсунки Softspray
  • Транспорт для подачи пластин, позволяющий сократить время спин-сушки, с системой крепления на две головы с возможностью расширения до шести, что позволяет обрабатывать в час до 160 пластин (в зависимости от конфигурации системы и условий обработки).
  • Функция регулирования давления щетки, которая показывает стабильность в диапазоне микро-нагрузки (опционально) в зависимости от рецепта, с  функцией регулирования частоты вращения щетки.
  • Оптимальная очистка в зависимости от типа пленки и загрязнения поверхности пластины.
  • Возможность тонкой цифровой регулировки высоты щетки на главной панели управления.
  • Устройство оснащено спин-патроном для предотвращения смещения или падения пластин
  • Широкий ассортимент щеток из различных материалов в зависимости от условий обработки.
  • Высокая работоспособность
  • В установку интегрирован фильтровентиляционный модуль (FFU)
  • Вся система управления установки была переработана и теперь имеет специализированный графический интерфейс, который обеспечивает более простое и интуитивное управление операций, что приводит к значительному повышению эффективности обработки ежедневных операций.
  • SS-80EX имеет собственную съемную конструкцию камеры, что значительно сокращает время простоя. С помощью этой установки, процедуры технического обслуживания, такие как щетки и пин-код замены или чистки чашки могут быть выполнены на остановленных камерах, тогда как остальные могут продолжать работать.

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.