DNS SR-2000

Установка удаления полимеров

  • Установка удаления полимеров для производственных процессов в полупроводниковой промышленности, производстве SiC / Si устройств питания, MEMS, LED, датчиков TSV и BSI…
  • Автоматическая система
  • Диаметр пластин: 200 мм
  • Эта модель предлагает универсальные спецификации для поддержки широкого спектра химических веществ, что позволяет эффективно удалять полимеры, которые остаются после различных процессов травления. Помимо химической очистки установка позволяет осуществлять физическую очистку. Подавляются металлическая коррозия и повреждения от оксидов травителей.
  • Спин обработка обеспечивает быстрый переход от химической очистки до ополаскивания в деионизованной воде, что  устраняет необходимость в промежуточном полоскании, которое необходимо в обычной пакетной обработке. Это способствует более высокой степени очистки.
  • Не более четырех камер могут быть использованы с одним химическим веществом для массового производства, или две пары химических веществ могут быть использованы в двух парах камер для производства меньших партий.
  • Система снятия эффективно снижает использование химикатов. Безметалловые материалы используются для частей установки, которые вступают в контакт с химическими веществами и деионизованной водой, что исключает риск загрязнения.
  • Опции: Ультразвуковая МГц система очистки деионизованной водой D-Sonic для удаления мелких частиц; очистка с нанесением наноаэрозоли при помощи жидкостной форсунки Softspray
  • Энергоносители: азот, сжатый воздух, вакуум, деионизованная вода,…
  • Размеры (Д х Ш х В): 1900 мм х 3000 мм х 2800 мм
  • Вес: 3700 кг

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.