DNS CW-1500

Установка химического травления, отмывки и сушки пластин

  • Установка химического травления, отмывки и сушки пластин для производственных процессов и научных исследований в полупроводниковой промышленности, производстве SiC / Si устройств питания, MEMS, LED, датчиков TSV и BSI…
  • Автоматическая компактная система жидкостного химического травления и отмывки, с широким набором функций
  • Установка может работать с многими видами химикатов, включая кислоты, щелочи, растворители
  • Диаметр пластин: от 50 мм до 200 мм (2”, 3”, 4”, 5”, 6”, 8”)
  • Возможность настройки для работы одновременно с  2 размерами пластин
  • Производительность: до 100 пластин/час, в зависимости от рецепта процесса
  • Количество ванн: до 6 штук
  • Произвольный доступ к каждой ванне
  • Пакетная обработка
  • Высокая однородность травления
  • Функция сушки с учетом особенностей технологического процесса
  • Графический контроллер поддерживает широкий спектр приложений, от R&D и прототипирования для мелкосерийного производства до опытно-промышленной линии для массового производства
  • Роботизированный транспорт
  • Встроенная система безопасности
  • Размеры (Д х Ш х В): 2700 мм х 1350 мм х 2580 мм
  • Вес: 1600 кг

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.