Centrotherm Single Tube

  • Термическая НИОКР установка (диффузия, легирование, отжиг, оксидирование)  Загрузка – до 50 пластин Ø150мм, до 25 пластин Ø200мм
  • Температура процесса – от 200 до 1300°C
  • Три 300-мм зоны нагрева
  • Точность поддержания нагрева ±0,5°C в пределах зоны
  • 1 горизонтальный кварцевый или SiC трубный реактор

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.