Centrotherm RTP 150

  • Установка быстрых температурных процессов для кремния и п/п соединений (отжиг, сухое оксидирование, активация легирующей примеси)
  • Загрузка: пластины до Ø6″, графитовый подложкодержатель до Ø6″ с пластинами до 5″
  • Температура процесса (ламповый нагрев) – до 1150°C
  • Скорость изменения температуры – до 150 К/сек
  • Точность поддержания нагрева ±0,5°C между процессами
  • Возможность применения всех стандартных газов, например: N2, O2, N2O, N2/H2
  • Процессы атмосферные и с управляемым вакуумом
  • Опция: Система измерения температуры для составления профиля
  • Опция: Робот с двумя манипуляторами для автоматической загрузки/выгрузки
  • Электропитание:          50 кВт, 400В, 75А (3 фазы), 50Гц
  • Сжатый воздух:             6 – 10 бар
  • Вода для охлаждения:   1,2 м3/час
  • Вытяжная система:      250 м3/час
  • Габариты (Ш х Г х В):       1300 х 1600 х 1500 мм

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.