Centrotherm Oxidator 150-5,Centrotherm Oxidator 150-50

  • Высокотемпературная вертикальная печь (для Si и SiC оксидирования и отжига после него) 
  • Загрузка:

Oxidator 150-5: 5х2″, 5х3″, 5х100мм, 5х150мм; 

Oxidator 150-50: 40х2″, 50х3″, 50х100мм, 50х150мм

  • Температура процесса: от 900°C до 1400°C, резистивный нагрев
  • Скорость нагрева: до 10 К/мин
  • Применяемые газы: NO, N2O, NO2, O2, H2, N2, Ar
  • Вакуум: < 1х10-3 мбар
  • Диапазон рабочего давления технологического процесса: от 800 мбар до атмосферного
  • Возможность объединения нескольких установок в линию
  • Опции: вакуумный загрузочный шлюз, роботизированная загрузка, система для влажного окисления, испаритель деионизованной воды и пр.
  • Габариты (Ш х Г х В):   1463 х 2128 х 2500 мм
  • Электропитание:         

Oxidator 150-5: 25 кВт, 400В, 40А (3 фазы), 50Гц

Oxidator 150-50: 45 кВт, 400В, 70А (3 фазы), 50Гц

  • Сжатый воздух:             6 – 10 бар
  • Вода для охлаждения:     1,5 м3/час
  • Вытяжная система:          400 м3/час

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.