Centrotherm E 2000

  • Промышленная многопроцессная термическая установка (диффузия, легирование, отжиг, оксидирование, нитридирование…; ХОГФ НД; ПА ХОГФ) 
  • Загрузка – до 200 пластин Ø150мм, до 150 пластин Ø200мм, до 75 пластин Ø300мм
  • Температура процесса – от 200 до 1300°C
  • 3 или 5 зон нагрева от 900 до 1000 мм
  • Точность поддержания нагрева ±0,5°C в пределах зоны
  • До 4-х горизонтальных кварцевых или SiC труб реакторов
  • Газы: H2, Ar, O2, N2O, N2, SiH4, NH3, B2H6, PH3, SiH2Cl2
  • Автоматизированная кассетная загрузка (до 200мм пластин)

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.