Centrotherm E 1550

  • Среднесерийная многопроцессная термическая установка (диффузия, легирование, отжиг, оксидирование, нитридирование…; ХОГФ НД; ПА ХОГФ) 
  • Загрузка — до 100 пластин Ø150мм, до 75 пластин Ø200мм
  • Температура процесса — от 200 до 1300°C
  • 3 или 5 зон нагрева от 550 до 600 мм
  • Точность поддержания нагрева ±0,5°C в пределах зоны
  • До 4-х горизонтальных кварцевых или SiC труб реакторов
  • Газы: H2, Ar, O2, N2O, N2, SiH4, NH3, B2H6, PH3, SiH2Cl2

к списку