Centrotherm E 1200

  • Лабораторная термическая установка для небольших партий (диффузия, легирование, отжиг, оксидирование, нитридирование…; ХОГФ НД; ПА ХОГФ) 
  • Загрузка: до 50 пластин Ø150мм, до 20 пластин Ø200мм
  • Температура процесса: от 200 до 1300°C
  • Три 300-мм зоны нагрева
  • Точность поддержания нагрева ±0,5°C в пределах зоны
  • До 4-х горизонтальных кварцевых или SiC труб реакторов
  • Газы: H2, Ar, O2, N2O, N2, SiH4, NH3, B2H6, PH3, SiH2Cl2
  • Электропитание: 55 кВт, 400В, 80А (3 фазы), 50Гц
  • Вода для охлаждения: от 3 до 4,2 м³/ч
  • Сжатый воздух: 6 – 10 бар
  • Вытяжная система: 400 м³/ч

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.