Centrotherm CMV 200, Centrotherm 300.

• Высокопроизводительная двухреакторная вертикальная печь (диффузия, легирование, отжиг, оксидирование, нитридирование…; ХОГФ НД)
• Загрузка: CMV 200 — до 125 пластин Ø200мм, CMV 300 — до 100 пластин Ø300мм. Зона нагрева 880 мм
• Температура процесса — от 300 до 1100°C
• Точность поддержания нагрева ±0,5°C в пределах зоны
• N₂  загрузочный шлюз
• Возможность применения всех стандартных газов

к списку