Centrotherm CAV 150, Centrotherm CAV 200.

  • Высокопроизводительная однотрубная вертикальная печь (диффузия, оксидирование, нитридирование, отжиг, силицидирование…; ХОГФ НД)
  • Загрузка: CAV 150 – до 150 пластин Ø150мм, CAV 200 – до 100 пластин Ø200мм
  • Температура процесса – от 300 до 1100°C
  • 3 или 5 зон нагрева 880 мм
  • Точность поддержания нагрева ±0,5°C в пределах зоны
  • Автоматизированная кассетная загрузка
  • Возможность применения всех стандартных газов
  • Реактор для атмосферных и вакуумных процессов

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.