Centrotherm Activator 150-5 (50)

  • Высокотемпературная вертикальная печь для отжига SiC или GaN, окисления  SiC или Si (от НИОКР до крупного производства)
  • Загрузка: Activator 150-5 – 5(15)х2″, 10х3″, 5х4″, 5х6″;  Activator 150-50 – 40(120)х2″, 40х3″, 50х4″, 50х6″
  • Температура процесса – до 1850°C, резистивный нагрев
  • Скорость нагрева – до 250 К/мин
  • Газы: H2, He, SiH4, C3H8, C2H4, Ar
  • Вакуум – < 1х10-3 мбар
  • Опции: загрузочный шлюз, регулирование давления 1-25 мбар, роботизированная загрузка и пр.

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.